guohong1998

1 内部工作区均为不锈钢材质，内部回风通道有高温过滤器，保证工作室洁净度百级效果2 出风和回风口均为可调节装置，保证工作室空间温度均匀3 该烤箱对高洁净产品适用，也可在箱体增加不锈钢固定台架，放置模具进

1 本方案中洁净工作区域尺寸600 X 600 X600mm(长宽高)2 采用上面四风吹，下面回风方案，满足百级垂直方向，风流向均匀，无死角3 双门采取双层玻璃窗设计，，达到隔热恒温效果，

1 FFU 过滤器尺寸600x600x80mm,过滤效率H13~H142 整机尺寸610x610x327mm(长宽高)3 额定风量700M3 H,风速0 45m s

1 采用双摄像头上置，XYZ调节范围正负10mm2 适用12寸晶圆片检测，可修改平台真空槽位兼容8寸3 CCD为单筒0 5~4倍可调，可配置高清LCD显示器21 5寸，及双通道分频器HDMI接口，保证显示清晰。4 根据工艺要求配真空阀

1 整机外观尺寸：1750x850x2325mm(长宽高)2 FFU过滤效率h143 12寸晶圆片通过传送到高效吹淋段前停止待进（传感器未画），吹淋区闸门气缸驱动打开，晶圆片进入到停止位停止，闸门关闭，时间到，出口闸门打开，晶圆