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12寸晶圆套装位置CCD检测平台
1 采用双摄像头上置,XYZ调节范围正负10mm2 适用12寸晶圆片检测,可修改平台真空槽位兼容8寸3 CCD为单筒0 5~4倍可调,可配置高清LCD显示器21 5寸,及双通道分频器HDMI接口,保证显示清晰。4 根据工艺要求配真空阀