吹淋机

1 整机外观尺寸：1750x850x2325mm(长宽高)2 FFU过滤效率h143 12寸晶圆片通过传送到高效吹淋段前停止待进（传感器未画），吹淋区闸门气缸驱动打开，晶圆片进入到停止位停止，闸门关闭，时间到，出口闸门打开，晶圆