12寸晶圆套装位置CCD检测平台
1 采用双摄像头上置，XYZ调节范围正负10mm2 适用12寸晶圆片检测，可修改平台真空槽位兼容8寸3 CCD为单筒0 5~4倍可调，可配置高清LCD显示器21 5寸，及双通道分频器HDMI接口，保证显示清晰。4 根据工艺要求配真空阀
12寸晶圆吹淋机模型下载
1 整机外观尺寸：1750x850x2325mm(长宽高)2 FFU过滤效率h143 12寸晶圆片通过传送到高效吹淋段前停止待进（传感器未画），吹淋区闸门气缸驱动打开，晶圆片进入到停止位停止，闸门关闭，时间到，出口闸门打开，晶圆
