检测平台

1 采用双摄像头上置，XYZ调节范围正负10mm2 适用12寸晶圆片检测，可修改平台真空槽位兼容8寸3 CCD为单筒0 5~4倍可调，可配置高清LCD显示器21 5寸，及双通道分频器HDMI接口，保证显示清晰。4 根据工艺要求配真空阀