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12寸晶圆吹淋机模型下载
机械设计

1 整机外观尺寸：1750x850x2325mm(长宽高)2 FFU过滤效率h143 12寸晶圆片通过传送到高效吹淋段前停止待进（传感器未画），吹淋区闸门气缸驱动打开，晶圆片进入到停止位停止，闸门关闭，时间到，出口闸门打开，晶圆
2023-12-10 186 30
guohong1998 2023-12-10
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