摆阀
用于SEMI和FPD工艺的下游压力控制和隔离阀。适用于腐蚀性蚀刻和清洁过程。几乎无颗粒和无震动的操作；出色的压力控制性能；用于连接计算机或服务盒的服务端口。651系列有低的最小可控通导。 通径从DN100到DN400（其中651系列通径从DN160到DN400），有ISO-F、JIS法兰配置，材质有铝和硬质阳极氧化铝两种，每种法兰电气接口分别有G(A/H/C/T/U/V/W)型电源和开关保护选项与和G(H/V/W/C/E/P/Q/D/F/J/K/Y/Z/L/N/I/X/S)型界面选项共组合配置。该模型机含有所有配置（除D-F-S型界面外外）——参考VAT产品介绍。
编辑点评：此控制摆阀三维模型为单一零件模型，无直接修改的设计参数。另外包含通用step设计格式文件。
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